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FT-IR 光譜儀 INVENIO
布魯克（Bruker）INVENIO 系列傅里葉變換紅外光譜儀（FT-IR）是面向科研與高端分析需求開發的一體化光譜分析平臺，具備廣譜覆蓋、高分辨率和多探測器自動切換等先進特性。其核心采用 RockSolid? 或 INTEGRAL? 干涉儀，結合 MultiTect? 與 DigiTect? 技術，實現從遠紅外到近紅外甚至可見光的全波段分析。系統支持多達七個內部探測器自動控制，無需拆卸即可高效切換測量模式，顯著提升實驗效率與數據準確性。 INVENIO 系列具備強大的模塊化設計，配備雙樣品通道（Transit?）和一鍵快速更換附件（QuickLock?），適配各類 ATR、透射、反射及顯微成像模塊，廣泛應用于材料科學、聚合物、生命科學、化工制藥、環境監測等領域。配套 OPUS/OPUS-TOUCH 軟件平臺，支持自動驗證、法規合規（如 21 CFR Part 11）及智能數據處理，是現代科研與質量控制中不可或缺的先進表征工具。
產品描述
可對半導體工藝中常見材料（如硅氧化物、氮化硅、光刻膠殘留、多晶硅、有機/無機雜質等）進行快速、非破壞性檢測，廣泛用于薄膜厚度分析、界面官能團識別、等離子刻蝕殘留表征、清洗效果驗證、雜質監測等環節。系統支持多種附件擴展，包括 ATR 接觸模塊、反射鏡附件、紅外顯微鏡等，適配不同晶圓尺寸和工藝要求。
搭配 OPUS 系列軟件，系統可實現自動化測量、譜圖建庫、質量控制與法規合規分析，是科研開發、工藝優化與失效分析過程中不可或缺的關鍵表征設備。提供強大的靈活性與可擴展性，適合集成電路制造、材料研發、第三方檢測機構及高校實驗室的精密分析需求。
產品參數
光譜范圍與分辨率
- 光譜范圍：15cm?1 至 28,000 cm?1，涵蓋遠紅外（FIR）、中紅外（MIR）、近紅外（NIR）和可見/紫外（VIS/UV）區域 。
- 分辨率：最高可達 0.085 cm?1，滿足高精度分析需求 。
干涉儀與光學系統
- RockSolid?干涉儀：永久對準、免維護設計，采用雙角反射器和無磨損支點結構，確保長期穩定性和高通量
INTEGRAL?干涉儀：集成三位光束分束器自動切換器，實現全自動多光譜范圍測量 。
探測器與多通道配置
- MultiTect?技術：支持最多 5 個室溫探測器的自動控制，如 DTGS、InGaAs、Si 二極管或 GaP, 覆蓋 FIR 至 UV/VIS 全光譜范圍。
- DigiTect?插槽：用戶可更換的探測器插槽，支持液氮冷卻探測器，提供更高的靈敏度和穩定性。
最大探測器配置：通過 MultiTect? 和 DigiTect? 技術，可配置多達 7 個內部探測器，滿足多樣化分析需求。
樣品處理與通道設計
- Transit?通道：第二樣品室，允許同時進行兩種實驗設置，提高實驗效率。
QuickLock?機制：快速更換附件，簡化操作流程 。
軟件與自動化功能
- OPUS-TOUCH軟件：集成觸控 PC，提供直觀的用戶界面，支持自動數據導出、多測量工作流程等功能 。
