18070275866 陳工 
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Thermo Scientifi Axia ChemiSEM
Thermo Scientific? Axia? ChemiSEM 引入一種全新的能譜分析概念，采用獨特方法進行樣品成分信息的采集、處理和展示。傳統(tǒng)能譜會利用二次電子或背散射電子信息，卻不利用其圖像進行數據處理，因而數據獲取速度較慢，而且圖像分辨率相對粗糙。相比而言，Axia ChemiSEM 采集數據所用的是同一掃描發(fā)生器，將掃描電鏡圖像與能譜圖像完美對中，因而圖像更加銳利，圖像噪音更少。另外，此外，脈沖處理采用自適應脈沖整形技術，確保各種條件下均能獲得可靠數據。元素分布圖通過定量算法形成，因此，所顯示的成分數據可靠，且結果中不會出現重疊峰誤判等。專有的陰影檢測算法幫助確保信息來自于 檢測到X射線的區(qū)域。
產品描述
產品參數
成像與分辨率
項目 參數
加速電壓范圍 200V ~ 30kV
最大束流 2 μA
分辨率(高真空SE) 3.0nm @ 30kV; 8.0nm @ 3kV
分辨率(低真空SE) 10nm @ 3kV; 3.0nm @ 30kV
分辨率(BSE模式) 4.0nm @ 30kV
放大倍率 5x - 1,000,000x
探測器系統(tǒng)
ETD 二次電子探測器
背散射電子探測器（可伸縮）
低真空二次電子探測器
TrueSight X EDS 探測器（分辨率 129 eV，可選 LX 版）
Nav-Cam? 導航相機
陰極熒光探測器（可選）
樣品臺與樣品倉
項目 參數
樣品臺 五軸電動, XY 120 mm, Z 55 mm, 旋轉 360° , 傾斜 -15° ~+90°
最大樣品重量 10kg (移除ZTR軸), 標準最多500 g
最大樣品尺寸 高達 128 mm
樣品倉直徑 280mm, 10個端口, 支持雙EDS對稱安裝
真空系統(tǒng)
高真空抽氣時間：≤2 分鐘
低真空抽氣時間：≤4.5 分鐘
最大低真空壓力：150 Pa
'穿透透鏡'壓差系統(tǒng)，有效減小束散與荷電效應
